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發布時間:2023-02-23 11:22:57 作者:知網小編 來源:www.derer.cn
我們通常按工作原理來 分類,可以分為:壓阻式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、壓電 式壓力傳感器、 智能式壓力傳感器等。 當然,我們也可以采用所使用的材料對壓力傳 感器進行分類:余屬壓力傳感器、半導體壓力傳感器、金屬.氧化物壓力傳感器、光 學壓力傳感器等,還有其他一些分法,這里就不一一介紹了。 壓阻式壓力傳感器是應用最廣泛的壓力傳感器之一。 壓阻式壓力傳感器是利用硅 的壓阻效應和微電子技術制成的,它具有靈敏度高、動態響應好、準確度高、易于微 型化和集成化等特點,是獲得廣泛應用,而且是發展迅速的一種新的物性型傳感器。 早期的壓阻傳感器是利用半導體應變片制成的粘貼型壓阻傳感器。